MFC-08在线配气装置，应用高精度质量流量计对气体流量进行控制，通过高性能气体混合罐实现气体均匀混合，通过软件可针对每路气体的流量进行调节和控制，并可进行配气应用方案设计，实现不同时间段配气浓度的自动调节。具备配气精度高、应用灵活、智能化等多个特点产品功能

• 1-8组气体的流量输出控制

• 2-8组气体的在线均匀混合

• 配气方案智能控制，可对各组气体流量进行程序控制，可使各组气体流量根据预设程序进行调控

• 多种配气方式可选

• 可外接各类仪器、反应器等

• 混合、独立等多种气路外接方式

• 气体预热功能

• 智能气路清洗功能